①以任何形式接触到三氯氢硅是都应当立即开始急救
尽快将受伤者从污染区域转移是很重要的。
②皮肤接触
当皮肤接触、衣服污染或者是两者都有，迅速脱掉所有的衣服和鞋袜，用大量的水清洗皮肤受污染部位，持续清洗至少15分钟；在做检查之前任何药膏都不能用来治疗化学品灼烧；被三氯氢硅浸湿的衣服和鞋袜应该丢弃；所有的伤者应当由内科医生看护 。
③眼睛接触
极少量的三氯氢硅进入眼睛 ，应该立即用大量的水冲洗 ，最低限度要持续进行15分钟。
④食入三氯氢硅
立即通知医生到达现场。如果发生呕吐，喝水来冲淡化学品；让病人保持舒服和温暖，不要给失去知觉的人通过口腔喂食任何食物 。
⑤吸入三氯氢硅
立即将吸入三氯氢硅烷蒸汽的人从受污染的空气中转移。如果受害者已经停止呼吸，要立即对其进行人工呼吸；并且通知医生。派经专业培训过的人员对病人进行输氧 ，如果可行的话 。受伤的人要保持温暖环境，但是不要太热。
三氯氢硅生产的原料都是不燃物质 ，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆的物质 ，如，氢气、三氯氢硅、氯气等。
1.电解食盐水的火灾危险性
①电解是有强大的电流通过，如果电气的绝缘不良极易产生电火花 ，电解车间经常有氢气泄漏 ，遇到电火花或者其它明火会发生燃烧或爆炸。
②如氢气与氯气想混 ，达到爆炸极限范围 ，遇光也会发生爆炸。
2.三氯氢硅合成的火灾危险性
SiHCl3的合成是在280℃～300℃的温度下进行的，已经超过了SiHCl3的自燃温度175℃ ，在合成过程中如果SiHCl3发生泄漏，或者空气进入反应器，极易引起燃烧、爆炸或中毒事故 。并且SiHCl3有毒，遇水燃烧，给火灾扑救带来一定的困难。
3.三氯氢硅贮罐的火灾危险性
SiHCl3的贮罐如果发生泄漏 ，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为我贮量大 ，一旦发生泄漏 ，如果不及时堵漏，影响会不断扩大。贮罐区因为冷却水的需要经常有水存在，泄漏的SiHCl3遇水发生反应，产生有毒的HCl，向四周扩散 ，给抢险救援工作带来困难 。
1.生产和储存中如果发生三氯氢硅泄漏，应根据泄漏量的大小划出一定的警戒范围 ，禁止无关人员和车辆进入警戒区，切断警戒区的所有火源 ，迅速撤离泄漏污染区内的人员至安全地带。如果是贮罐发生泄漏，又不能及时排除泄漏，就应该将发生泄漏的贮罐内的三氯氢硅用氮气压入备用罐内 。如果是生产中的设备和管道发生泄漏 ，应立即停止生产 ，并迅速关闭有关阀门切断物料输送。
泄漏地带有水源时，应用干砂土围成隔离带，将泄漏的三氯氢硅与水隔离开来 。抢救人员进入危险区域是应佩戴自给式呼吸器或防毒面具。应先查明泄漏部位的泄漏状况 。由于贮存三氯氢硅的容器为常压容器，应针对不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施，切断泄漏源，用砂土、水泥吸收残留液。
2.三氯氢硅泄漏后发生燃烧时，应采用干砂 、二氧化碳 、干粉、水泥灭火 ，禁止直接用水和泡沫扑救。
疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区 ，应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质（木材、纸、油等）接触，在确保安全情况下堵漏。大量泄漏最好不用水处理，在技术人员指导下清除。
①呼吸系统防护 ：可能接触其蒸气时 ，必须佩戴防毒面具 ，紧急事态抢救或逃生时，佩戴自给式呼吸器 。
②眼睛防护 ：戴化学安全防护眼镜。
③防护服：穿工作服（防腐材料制作）
④手防护：戴橡胶手套。
①皮肤接触：立即脱去污染的衣着 ，用流动清水冲洗15分钟 ，若为灼伤，就去治疗 。
②眼睛接触 ：立即提起眼睑 ，用流动的清水冲洗10分钟或用2%碳酸氢钠溶液清洗 。
③吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。注意保暖，保持呼吸道畅通 ，必要时进行人工呼吸。就医。
④食入 ：患者清醒时立即漱口 ，给饮牛奶或蛋清 。立即就医。
二氯二氢硅易燃 ，其蒸气能与空气形成爆炸性混合物 。与热源 、明火有燃烧爆炸的危险 ，与卤素及其他氧化剂剧烈反应，遇水或水蒸气剧烈反应，生成盐酸盐烟雾 。
灭火方法：切断气源 。若不能切断气源，则不允许熄灭泄露出的火焰。冷水冷却容器 ，可能的话将容器从火场移至空旷处。
灭火剂：干砂、干粉或水泥 。
氮气为无色、无臭、无味的气体，属于惰性气体 ，一般情况下十分稳定，但在高温下可与氧反应生成氧化亚氮（NO2），与氢反应生成氨（NH3） 。
空气因含有氧气而具有氧化性和助燃性 ，液态和压缩空气遇硫、磷会引起爆炸 ，能使油脂剧烈氧化 ，甚至发生燃烧爆炸。与乙炔、氢、甲烷等易燃气体能形成具有爆炸性的混合物。贮存容器受热后压力增大 ，有开裂和爆炸的危险 。
易分解放出氨气 ，温度越高，分解速度越快，可形成爆炸性气氛。
1.泄漏应急处理
迅速撤离污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入，应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防酸碱工作服 。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源 。
2.小量泄漏：用砂土、蛭石或者其它惰性材料吸收 。也可以用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。
大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。用泵转移至流动清水冲洗至少15分钟。就医。
3.眼睛接触 ：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。
4.吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处 。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医 。
5.食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。
刺激眼及上呼吸道，严重时引起化学性肺炎与肺水肿 、皮肤灼伤。一般易燃性气体或蒸气都能与其形成火灾或爆炸。（如，松节油 、乙醚、氨气、烃类、氢气 、金属粉末）等呼入极高浓度的氯气 ，可引起迷走神经反射性心跳停或喉头痉挛而发生“电击样”死亡 。
人员迅速撤离泄漏区至上风向，并隔离直至气体散尽，切断气源，合理通风，加速扩散；喷雾状水稀释、溶解 ；构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水 ，如有可能，用管道将泄漏物导至还原剂（酸式硫酸钠或酸式碳酸钠）溶液，也可以将漏气钠瓶浸入石灰乳液中；各种防毒面具均能有效防护进入高浓度区，必须全身防护，采用隔绝式面具 。
极易于液化 、易燃，接触氨可引起严重灼伤；水溶液有腐蚀性；高浓度氨可引起反射性呼吸停止。
人员迅速撤离泄漏污染区至上风向，并隔离直至气体散尽 ，防止皮肤接触 ；切断电源，建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防静电工作服 ；高浓度泄漏区用喷含盐酸的雾状水中和稀释、溶解；构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水，如有可能，将残余气或泄漏气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风设备内 ，储罐区最好设稀酸喷洒设施 ；漏气容器要妥善处置，修复、检验后再用。
易燃有刺激性和毒性 ；蒸气与空气形成爆炸性混合物，遇热或明火易着火、爆炸：蒸气比空气重，能与氧化物发生强烈反应 。
腐蚀性较强 ；对人体有严重损害，重症者可昏迷、抽搐、呼吸及循环衰竭 ；为致癌物 。
迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入，切断火源 ；建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器 ，穿防毒工作服；尽可能切断泄漏源 ，用雾状水扑灭小面积火灾，保持容器冷却；用活性炭或其他惰性材料或沙土吸收，也可用不燃性分散剂乳液刷洗，经稀释后放入废水处理系统；如大量泄漏，立即建围堤收容，然后收集、转移、无害化处理。
剧毒；通过呼吸道 、皮肤及消化道进入人体引起中毒。
迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离 ，严格限制出入，切断电源 ；建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器 ，穿防毒工作服；不要直接接触泄漏物 ，尽可能切断泄漏源 ，防止进入下水道、排洪沟等限制性空间；环境中小范围污染，可用3%-5%氢氧化钠溶液 、碳酸钙或漂白粉和大量洗涤水冲洗；经稀释过的污水排入废水系统，阻止药液流向水源 ；被污染的工具和包装材料须及时用熟石灰或碱水消毒处理，无用的要集中焚烧 ，禁止使用酸碱灭火剂。
喷雾状水 ，减少蒸发。用沙土、干燥石灰混合，收集运至废物处理场所。溶于水后用碳酸钠中和，然后用氯化钙沉淀。也可用大量水冲洗，经稀释的冲洗水排入废水系统。
切断泄漏源，防止进入下水道；少量泄漏时用沙土、干燥石灰、苏打灰混合后回收；大量泄漏时应构筑围堤或挖坑收容 ，用泵转移至槽车内 。
切断泄漏源 ，防止进入下水道 ；或用沙土、干燥石灰 、苏打灰混合后回收 ；回收物应安全处置，可加纯碱—消石灰溶液中和；大量泄漏时应构筑围堤或挖坑收容 ，用泵转移至槽车内。
切断泄漏源，防止进入下水道；或用沙土 、干燥石灰、苏打灰混合后回收；用碱性物质(如碳酸氢钠、碳酸钠、消石灰)等中和。大量泄漏时应构筑围堤或挖坑收容，用泵转移至槽车内。
不要直接接触泄漏物 ，避免扬尘，减少飞散；处理一般采用碱性氯化法，加碱使水处于碱性条件 ，再加过量次氯酸钠 、液氯或漂白粉处理。
